| 发明名称 | 一种真空等离子清洗机组合柜式电极 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空等离子清洗机组合柜式电极，包括铝制真空箱体；在真空箱体内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板，在竖直方向上铝制电极板按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板均为阳极；在真空箱体内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板，每一层均为阳极；水平方向上的铝制电极板和竖直方向上的铝制电极板形成若干治具间；在每个治具间的水平方向上的铝制电极板上设有治具绝缘支架，治具绝缘支架上固定有载板；在真空箱体的顶部设有电极馈入接头，其穿过真空箱体与其内部作为阴极的铝制电极板相连，本实用新型能批量处理待处理的产品，并且同时能够保证产品处理效果和均匀性，操作简单，提高了产能。 | ||
| 申请公布号 | CN205529055U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620080050.X | 申请日期 | 2016.01.27 |
| 申请人 | 昆山普乐斯电子科技有限公司 | 发明人 | 郭峰;刘善双;国际瑞;刘善石 |
| 分类号 | C23G5/00(2006.01)I | 主分类号 | C23G5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林 |
| 主权项 | 一种真空等离子清洗机组合柜式电极，其特征在于：包括铝制真空箱体（1）；在真空箱体（1）内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板（2），在竖直方向上铝制电极板（2）按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板（2）均为阳极；在真空箱体（1）内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板（2），每一层均为阳极；水平方向上的铝制电极板（2）和竖直方向上的铝制电极板（2）形成若干治具间（3）；在每个治具间（3）的水平方向上的铝制电极板（2）上设有治具绝缘支架（4），治具绝缘支架（4）上固定有载板（5）；在真空箱体（1）的顶部设有电极馈入接头（6），其穿过真空箱体（1）与其内部作为阴极的铝制电极板（2）相连。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市高新区莫介路181号 | ||