包括移动质量块的传感器以及用于检测所述质量块的相对移动的装置

摘要

本发明涉及一种MEMS惯性传感器，包括：通过弹性装置被连接到其以便在悬挂平面中可移动的至少第一激振体和第二激振体的框架、将激振体保持振动并确定激振体在悬挂平面内的移动的换能器以及通过导电体装置被连接到换能器的控制单元。换能器包括刚性连接到第一激振体的至少一个电极和连接到第二激振体的至少一个电极，这两个电极被如此安置以允许激振体相对于彼此在悬挂平面中的相对移动的直接测量。

主权项

一种MEMS类型的惯性传感器，包括：支持结构，具有通过弹性装置被连接到所述支持结构以便在悬挂平面中是可移动的至少第一激振体和第二激振体，用于将激振体维持在振动中并确定激振体在所述悬挂平面内的移动的换能器，以及通过导电体装置被连接到所述换能器的控制单元，所述传感器的特征在于，所述换能器具有在平行于所述悬挂平面的至少两个方向中被分别固定到第一激振体和第二激振体的电极，所述电极被安置为使得直接测量所述激振体在悬挂平面中相对于彼此的移动成为可能。