一种提升缺陷分类准确度的方法及装置

摘要

本一种提升缺陷分类准确度的方法及装置，通过包括一缺陷分类设备，所述缺陷分类设备包括一发送/接收模块、一处理模块和一存储模块；所述接收模块用于接收缺陷数据并将该缺陷数据传输至所述处理模块；所述处理模块用于对缺陷数据进行处理分类并生成一缺陷分类数据；所述存储模块用于存储所述缺陷分类数据；所述发送模块用于将所述存储模块中存储的缺陷分类数据进行发送。通过设置一缺陷分类设备，将缺陷观察设备观察到的缺陷数据进行处理分析后得到一缺陷分类数据并进行储存，在下一次缺陷检测设备进行缺陷检测时，可直接调取缺陷分类数据并直接输出缺陷趋势图，极大提高了检测效率，同时提高了检测精度。

主权项

一种提升缺陷分类准确度的方法，其特征在于，包括至少一缺陷检测设备、一缺陷观察设备及一缺陷分类设备，所述缺陷分类设备储存有缺陷分类数据，步骤如下：提供一待检测芯片，所述缺陷检测设备对所述待检测芯片表面所可能存在的缺陷进行检测，并读取所述缺陷分类设备中储存的缺陷分类数据，如果读取到与所述缺陷相匹配的缺陷分类数据，最后输出一缺陷趋势图；如果所述缺陷检测设备没有读取到与所述缺陷相匹配的缺陷的类数据，则继续利用缺陷观察设备对检测出的缺陷进行观察，并将观察的缺陷数据传输至所述缺陷分类设备，所述缺陷分类设备将缺陷进行分类生成一缺陷分类数据并进行存储，然后将所述缺陷分类数据传输至缺陷检测设备，最后输出一缺陷趋势图；其中，每个所述缺陷检测设备皆与所述缺陷分类设备连接。