机电换能器及其制造方法

摘要

本发明涉及机电换能器及其制造方法。所述机电换能器包括：第一电极、被设置在第一电极上的硅氧化物膜、以及包含被设置于硅氧化物膜上使得其间具有间隙的硅氮化物膜和被设置于硅氮化物膜上以与第一电极相对的第二电极的振动膜。

主权项

一种机电换能器，其特征在于，所述机电换能器包括多个单元，该单元包括：基板；第一电极；第一绝缘膜；振动膜，包含第二绝缘膜和第二电极；以及电压施加部件，用于在第一电极和第二电极之间施加电压；其中，所述电压施加部件施加电压以使得第一电极的电势比第二电极的电势低；和其中，第一电极、所述第一绝缘膜、所述第二绝缘膜和第二电极被从所述基板起按顺序布置，其中，在所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间在所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜堆叠的方向上形成间隙，其中，所述第一绝缘膜与第一电极和所述间隙接触，并且其中，所述第二绝缘膜与第二电极和所述间隙接触。