复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法，该点火器自下而上依次包括SiO₂底层、腔层、防漏SiO₂层、二次辐射层、绝缘SiO₂层、下电极Au层、CuO层、Al层和上电极Au层。SiO₂底层、腔层、防漏SiO₂层和二次辐射层构成类黑体聚能结构；腔层中腔的结构为中空锥形以汇聚能量、减少器件整体热容和使二次辐射层悬浮起来。CuO层和Al层构成含能金属桥膜。本发明增加类黑体聚能结构后，减少了含能金属桥膜MEMS点火器的热耗散，提高了点火输出；也缩短了热积累时间，从而减少点火延迟时间，提高了点火瞬发性；另外微加工实现容易，利于其集成。

主权项

复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器，其特征在于，自下而上依次包括SiO₂底层(1)、腔层(2)、防漏SiO₂层(3)、二次辐射层(4)、绝缘SiO₂层(5)、下电极Au层(6)、CuO层(7)、Al层(8)和上电极Au层(9)，SiO₂底层(1)、腔层(2)、防漏SiO₂层(3)、二次辐射层(4)构成类黑体聚能结构；腔层(2)由半导体硅构成，其有中空锥形以汇聚能量；CuO层(7)、Al层(8)构成含能金属桥膜。