一种半导体晶片清洗花篮

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶片清洗花篮，包括一个中部设有晶片槽的底座、两个与底座侧壁通过螺钉连接套合的侧支架、一个固定于侧支架上部的提杆和两个固定于侧支架中部的档杆，其中晶片槽两侧的底座上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架的中间部位设有与提杆相连的提杆架，提杆架的两侧设有对称于提杆架的挡杆架，挡杆架的上部设有与挡杆相配的挡杆槽，挡杆通过螺母固定于挡杆架的挡杆槽内，该挡杆上设有与晶片相配的晶片齿。本实用新型的花篮载片量显著增加，减少了人员反复清洗的作业量；挡杆可自由从支架上取出，方便晶片的装载和取出；晶片槽的旁边设有导流孔，尽可能少的使清洗液残留在花篮上，提高清洗质量。

主权项

一种半导体晶片清洗花篮，其特征在于包括一个中部设有晶片槽的底座、两个与底座侧壁通过螺钉连接套合的侧支架、一个固定于侧支架上部的提杆和两个固定于侧支架中部的档杆，其中晶片槽两侧的底座上分别设有与晶片相配的晶片齿，侧支架的中间部位设有与提杆相连的提杆架，提杆架的两侧设有对称于提杆架的挡杆架，挡杆架的上部设有与挡杆相配的挡杆槽，挡杆通过螺母固定于挡杆架的挡杆槽内，该挡杆上设有与晶片相配的晶片齿。