一种光刻机平衡质量系统

摘要

本发明公开了一种光刻机平衡质量系统，其是申请号201110145391.2的分案申请，该系统包括基础框架、大理石平台、微动台、平衡质量块以及反力矩缓冲机构；所述大理石平台固定于所述基础框架上；所述微动台通过垂向气浮垫支撑于所述大理石平台上，且沿X方向及Y方向相对于所述大理石平台运动；所述平衡质量块通过垂向气浮垫与所述基础框架相连，所述垂向气浮垫固定于所述基础框架上，且所述平衡质量块的运动情况与所述微动台的运动情况相反；所述反力矩缓冲机构与所述基础框架及所述平衡质量块相连，用于消除所述平衡质量块运动过程中因重心偏移产生的力矩，并且衰减所述平衡质量块向所述基础框架传递的振动；从而可提高光刻机系统的性能。

主权项

一种光刻机平衡质量系统，包括：基础框架；大理石平台，固定于所述基础框架上；微动台，通过第一垂向气浮垫支撑于所述大理石平台上，且沿X方向及Y方向相对于所述大理石平台运动；平衡质量块，通过第二垂向气浮垫与所述基础框架相连，所述第二垂向气浮垫固定于所述基础框架上，且所述平衡质量块的运动情况与所述微动台的运动情况相反；其特征在于，还包括：反力矩缓冲机构，与所述基础框架及所述平衡质量块相连，用于消除所述平衡质量块运动过程中因重心偏移产生的力矩，并且衰减所述平衡质量块向所述基础框架传递的振动；所述反力矩缓冲机构为柔性铰链，所述柔性铰链的一端与所述基础框架刚性相连，另一端与所述平衡质量块刚性相连；所述柔性铰链沿X向和Y向具有第一刚度，沿Z向具有第二刚度，所述第一刚度小于所述第二刚度。