发明名称 |
膜状胶粘剂、带有膜状胶粘剂的切割带、半导体装置的制造方法、以及半导体装置 |
摘要 |
本发明提供能够缓解由膨胀的差别引起的应力的膜状胶粘剂、带有膜状胶粘剂的切割带、半导体装置的制造方法。本发明提供一种热固化型的膜状胶粘剂,其含有丙烯酸类树脂、环氧树脂及导电性粒子,导电性粒子含有纵横比为5以上的片状粒子,导电性粒子100重量%中的片状粒子的含量为5重量%~100重量%,热固化后的150℃的储能模量为5MPa~100MPa。 |
申请公布号 |
CN105899630A |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201480072328.2 |
申请日期 |
2014.12.26 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
菅生悠树;大西谦司 |
分类号 |
C09J7/00(2006.01)I;C09J9/02(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;C09J161/10(2006.01)I;C09J163/00(2006.01)I;C09J163/02(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I |
主分类号 |
C09J7/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
葛凡 |
主权项 |
一种热固化型的膜状胶粘剂,其含有丙烯酸系树脂、环氧树脂及导电性粒子,所述导电性粒子含有纵横比为5以上的片状粒子,所述导电性粒子100重量%中的所述片状粒子的含量为5重量%~100重量%,热固化后的150℃的储能模量为5MPa~100MPa。 |
地址 |
日本大阪府 |