CO₂激光装置及CO₂激光加工装置

摘要

得到一种CO₂激光装置及CO₂激光加工装置，其射出高输出、且光束直径稳定而不依赖于重复频率的脉冲激光。具有：激光气体(G)，其成为CO₂激光介质；近同心型的稳定型光共振器，其将至少1个共振器反射镜的曲率半径设置为与从光开关至共振器反射镜为止的距离相等；光开关，其设置在稳定型光共振器内；以及传输反射镜(51～56)，其设置为使从稳定型光共振器产生的激光(41)再次通过CO₂激光介质。

主权项

一种CO₂激光装置，其具有：CO₂激光介质，其形成在长方体形状的放电空间内，并且，通过强制对流在所述放电空间内进行循环移动；光共振器，所述CO₂激光介质置于该光共振器中；光开关，其设置在所述光共振器内；以及传输反射镜，其对从所述光共振器向所述光共振器的外部射出的激光进行反射，该CO₂激光装置的特征在于，所述光共振器由近同心的稳定型光共振器构成，所述光共振器具有第1及第2共振器反射镜，从所述第1共振器反射镜输出所述激光，将所述第1共振器反射镜的曲率半径设定为与从所述光开关至所述第1共振器反射镜为止的距离相等，在所述光共振器中，仅在从所述光开关至所述第1共振器反射镜之间配置所述CO₂激光介质，所述光开关以下述方式设置在所述第1共振器反射镜和所述第2共振器反射镜之间的光轴上，即，与通过所述第1共振器反射镜和所述第2共振器反射镜之间的所述激光的光束直径最细的位置相比，该光开关位于所述第2共振器反射镜侧，所述传输反射镜设置为使所述激光再次通过所述CO₂激光介质。