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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM THERMISCHEN BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT251801(T) 申请公布日期 2003.10.15
申请号 AT20000905002T 申请日期 2000.02.02
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 DRESS, PETER;DIETZE, UWE;SZEKERESCH, JAKOB;WEIHING, ROBERT
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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