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一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法，其特征在于包括：步骤1)采集柱面发散镜(3)与待测凹柱面(1)组合波面误差数据步骤:沿光轴方向依次设置用于提供平行光的干涉仪、用于将平行光调制成发散柱面波的柱面发散镜(3)以及待测凹柱面(1)，其中待测凹柱面(1)的曲率中心线和平行光通过柱面发散镜(3)形成的虚焦线(2)位置重合，调整使光轴上各个光学元件共光轴，使用干涉仪测量获得平行光参考波面与返回干涉仪的被检波面W<sub>A</sub>的干涉图样数据，其中被检波面W<sub>A</sub>中携带有柱面发散镜(3)的波面误差W<sub>3</sub>与待测凹柱面(1)的波面误差W<sub>1</sub>；步骤2)采集柱面汇聚镜(4)与待测凹柱面(1)组合波面误差数据步骤:沿光轴方向依次设置步骤1)所述的干涉仪、用于将平行光调制成柱面波的柱面汇聚镜(4)、步骤1)所述待测凹柱面(1)，其中待测凹柱面(1)的曲率中心线和平行光通过柱面汇聚镜(4)形成的焦线(2)位置重合，调整使光轴上各个光学元件共光轴，使用干涉仪测量获得平行光参考波面与返回干涉仪的被检波面W<sub>B</sub>的干涉图样数据，其中被检波面W<sub>B</sub>中携带有柱面汇聚镜(4)的波面误差W<sub>4</sub>与待测凹柱面(1)的波面误差W<sub>1</sub>；步骤3)采集柱面发散镜(3)与柱面汇聚镜(4)组合波面误差数据步骤：沿光轴方向依次设置步骤1)所述的干涉仪、步骤1)所述的柱面发散镜(3)、步骤2)所述的柱面汇聚镜(4)以及平面标准反射镜(5)，其中柱面汇聚镜(4)的焦线(2)位置与柱面发散镜(3)的虚焦线位置重合，柱面汇聚镜(4)用于将发散光线重新调制为平行光，平面标准反射镜(5)放置于柱面汇聚镜(4)之后用于将平行光返回，调整使光轴上各个光学元件共光轴，使用干涉仪测量获得平行光参考波面与返回干涉仪的携带有柱面发散镜(3)的波面误差W<sub>3</sub>和柱面汇聚镜(4)的波面误差W<sub>4</sub>信息的波面W<sub>C</sub>干涉图样数据；步骤4)数据处理获取面形误差的步骤：将上述三次测量分别得到波面W<sub>A</sub>、W<sub>B</sub>、W<sub>C</sub>通过波面复原算法以及数据差分算法恢复出待测凹柱面(1)、柱面发散镜(3)、柱面汇聚镜(4)的面形误差数据。 |
