一种离子注入机束流与剂量测控装置及剂量控制方法

摘要

本发明公开了一种离子注入机束流与剂量测控装置及剂量控制方法,测控装置，包括CPU单元，CPU单元与SPI通信接口模块、ADC模块、通道程控开关、档位程控开关、束流/剂量程控开关、剂量积分电路、峰值捕捉电路、波形发生电路连接；所述SPI通信接口模块与所述ADC模块连接；所述ADC模块与所述束流/剂量程控开关连接；所述束流/剂量程控开关与所述峰值捕捉电路、剂量积分电路连接；所述束流/剂量程控开关、峰值捕捉电路、剂量积分电路均与所述档位程控开关连接；所述档位程控开关与所述通道程控开关连接；所述通道程控开关与法拉第杯接入端口连接。本发明能精确测量离子束流与剂量。

主权项

一种离子注入机束流与剂量测控装置，包括CPU单元；其特征在于，所述CPU单元与SPI通信接口模块、ADC模块、通道程控开关、档位程控开关、束流/剂量程控开关、剂量积分电路、峰值捕捉电路、波形发生电路连接；所述SPI通信接口模块与所述ADC模块连接；所述ADC模块与所述束流/剂量程控开关连接；所述束流/剂量程控开关与所述峰值捕捉电路、剂量积分电路连接；所述束流/剂量程控开关、峰值捕捉电路、剂量积分电路均与所述档位程控开关连接；所述档位程控开关与所述通道程控开关连接；所述通道程控开关与离子注入机的法拉第杯接入端口连接；所述剂量积分电路包括第一运算放大器，所述第一运算放大器负输入端和输出端之间并联有两个电容支路，所述两个电容支路并联；所述第一运算放大器正输入端接地；所述第一运算放大器的两个电源引脚分别输入+15V电源和‑15V电源；所述两个电源引脚各与一个接地电容连接；所述第一运算放大器的两个偏置调整端通过可调电阻连接；所述可调电阻与+15V电源连接。