| 发明名称 | 阻抗匹配装置，线性运动模块以及射频电源装置 | ||
| 摘要 | 一种阻抗匹配装置，其包括：第一可变电容器，其连接至RF电源且包括可线性运动的第一轴；第一线性运动单元，其轴向地耦接至第一可变电容器的第一轴以提供线性运动；第一绝缘接头，其将第一轴连接至第一线性运动单元的第一驱动轴；以及第一位移传感器，其用于测量第一线性运动单元的第一驱动轴的移动距离。 | ||
| 申请公布号 | CN103636123B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201280032132.1 | 申请日期 | 2012.06.28 |
| 申请人 | 株式会社普来马特 | 发明人 | 李元吾 |
| 分类号 | H03H7/38(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H03H7/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 褚海英;陈桂香 |
| 主权项 | 一种阻抗匹配装置，其包括：第一可变电容器，其连接至RF电源并包括可线性移动的第一轴；第一线性运动单元，其轴向地耦接至所述第一可变电容器的所述第一轴，以提供线性运动；第一绝缘接头，其用于将所述第一轴连接至所述第一线性运动单元的第一驱动轴；以及第一位移传感器，其用于测量所述第一线性运动单元的所述第一驱动轴的移动距离。 | ||
| 地址 | 韩国大田广域市 | ||