| 发明名称 | 化学机械抛光浆液 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种pH值介于8.5至13.5之间的化学机械抛光浆液，用于对不锈钢基材进行抛光，其包括含量为10至50wt％的研磨颗粒；含量为0.001至2.0wt％的散热剂；含量为0.001至1.0wt％的氧化剂；含量为10至5000ppm的润滑提升剂；以及含量为10至5000ppm的发泡抑制剂，其中该研磨颗粒的粒径尺寸介于20至500nm之间。根据本发明之碱性抛光浆液能于化学机械抛光后达到提高抛光效果、表面质量与抛光后之表面保护效益。 | ||
| 申请公布号 | CN105862044A | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201510357090.4 | 申请日期 | 2015.06.25 |
| 申请人 | 盟智科技股份有限公司 | 发明人 | 杨逸涵;刘文成;何明彻;陆明辉;张松源 |
| 分类号 | C23F3/04(2006.01)I | 主分类号 | C23F3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 翟羽 |
| 主权项 | 一种pH值介于8.5至13.5之间的化学机械抛光浆液，包含：含量为10至50wt%的研磨颗粒；含量为0.001至2.0wt%的散热剂；含量为0.001至1.0wt%的氧化剂；含量为10至5000ppm的润滑提升剂；以及含量为10至5000ppm的发泡抑制剂，其中该研磨颗粒的粒径尺寸介于20至500nm之间。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园市中坜区东园路33号 | ||