| 发明名称 | 具有非接合半导体特性靶的溅射阴极 | ||
| 摘要 | 本发明名称为“具有非接合半导体特性靶的溅射阴极”。一般地提供了溅射阴极(10)。溅射阴极(10)可包括定义溅射表面(14)和对着溅射表面(14)的背表面(16)的半导体特性靶(12)(例如，硫化镉靶、氧化镉锡靶等)。背板(18)可放置成面向靶(12)的背表面(16)并且不接合到靶(12)的背表面(16)。非接合附连机制可将靶(12)可拆卸地保持在溅射阴极(10)之内，以使得背表面(16)在溅射期间面向背板(18)。 | ||
| 申请公布号 | CN102420092B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201110306609.8 | 申请日期 | 2011.09.27 |
| 申请人 | 初星太阳能公司 | 发明人 | S·D·费尔德曼-皮博迪;R·D·戈斯曼;R·W·布莱克;P·L·奥基夫 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 柯广华;朱海煜 |
| 主权项 | 一种溅射阴极(10)，包括：定义溅射表面(14)和背表面(16)的可拆卸靶(12)，其中，所述背表面(16)对着所述溅射表面(14)，并且其中，所述靶(12)包含半导体特性材料；背板(18)，放置成面向所述靶(12)的所述背表面(16)并且不接合到所述靶(12)的所述背表面(16)，其中，所述靶(12)的所述背表面(16)与所述背板(18)之间存在间隙；以及，非接合附连机制，可拆卸地将所述可拆卸靶(12)保持在所述溅射阴极(10)之内，以使得所述背表面(16)在溅射期间面向所述背板(18)，其中，所述非接合附连机制包括：第一支架(20)，沿所述溅射表面(14)的第一边缘(21)放置以与所述溅射表面(14)的一部分重叠，以及第二支架(22)，沿所述溅射表面(14)的第二边缘(23)放置以与所述溅射表面(14)的一部分重叠；以及位于所述背板(18)与所述靶(12)之间的偏置构件(19)，以将所述靶(12)推向靠着所述第一支架(20)和所述第二支架(22)。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||