一种激光光刻机控制系统及其光刻机

摘要

本实用新型公开了一种激光光刻机控制系统及其光刻机，包括单片机、曝光控制电路、X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，所述第一单片机输入端连接X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。本实用新型采用了动态曝光、双向逐行扫描的工作方式，有效提高了光刻工作速度和精度。

主权项

一种激光光刻机控制系统，其特征在于，包括单片机、曝光控制电路、X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路、直线电机控制电路、交流伺服控制电路和通信接口电路，其中，所述单片机包括第一单片机和第二单片机，所述通信接口电路包括第一通信接口电路和第二通信接口电路，其中，所述第一单片机输入端连接X‑Y轴光栅尺正交脉冲计数处理电路，输出端连接曝光控制电路和直线电机控制电路，并与第一通信接口电路通信连接；所述第二单片机输出端连接所述交流伺服控制电路，并与第二通信接口电路通信连接。