发明名称 |
检测元件、辐射检测器、医疗装置和产生检测元件的方法 |
摘要 |
本发明涉及带有半导体转换元件(3)和多个安排于其上的像素化触点(5)的检测元件(1)、带有这样一种检测元件的辐射检测器、带有一个或多个这样的辐射检测器的医疗技术装置以及产生检测元件用的方法,它包括在应用安排于转换元件保护层(4)上的光刻掩模(9)的情况下借助于光刻过程在半导体转换元件(3)上形成像素化触点(5)的步骤。 |
申请公布号 |
CN103219399B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201210599362.8 |
申请日期 |
2012.12.24 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
F·迪里;P·哈肯施密德;片伯部弘志;岸纪行;C·施罗特;白木弘幸;M·斯特拉斯伯格;玉城充 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/115(2006.01)I;A61B6/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
熊雪梅 |
主权项 |
一种带有半导体转换元件(3)和多个安排于其上的像素化触点(5)的检测元件(1),其中该触点(5)在应用光刻掩模(9)的情况下借助于光刻过程在至少一个转换元件保护层(4)上制造,并且其中该转换元件保护层(4)包括安排在转换元件(3)表面上的绝缘层,和/或由有机和/或聚合物化合物形成的层。 |
地址 |
德国慕尼黑 |