使微调影响和活塞波型不稳定性最小化的声波导器件和方法

摘要

一种可操作为活塞波型波导的声波器件，其包括在压电基板的表面上形成叉指式换能器的电极，其中多个电极中的每一个均限定为具有横向延伸区域和横向相反边缘区域，用于引导声波沿纵向穿过换能器。氧化硅覆盖层覆盖换能器，并且氮化硅层仅在和边缘区域覆盖氧化硅覆盖层。氮化硅层的厚度足以为区域内的声波提供频率修改并且针对钛条在相反边缘区域中的每一个中的定位进行优化。钛条降低边缘区域内的声波速度，所述边缘区域内的速度低于换能器区域内的波速。

主权项

一种声波器件，包括：压电基板，其具有用于支持声波的表面；叉指式换能器，其载于所述压电基板的所述表面上，其中所述叉指式换能器的多个电极中的每一个都具有与第一和第二母线中的至少之一电连接的第一端以及相反的第二端，所述第二端具有与相对的母线隔开的边缘从而在每个电极的所述边缘和相对的母线之间形成间隙，所述间隙形成沿所述叉指式换能器纵向延伸的间隙区域，其中每个电极进一步由第一横向延伸部、第二横向延伸部以及第三横向延伸部所限定，所述第一横向延伸部靠近所述母线且容纳在所述间隙区域内，所述第二横向延伸部靠近所述边缘且限定沿所述叉指式换能器纵向延伸的边缘区域，所述第三横向延伸部位于所述第一和第二横向延伸部之间并且限定换能器中央区域，以及第一介电层，其覆盖所述叉指式换能器以将其包埋；第二介电层，其覆盖至少在所述中央区域和边缘区域内的所述多个电极，所述第二介电层足以为所述中央区域内的声波提供频率修改；和第三层，其在两个边缘区域和中央区域中仅之一内延伸，所述第三层足以修改所述中央区域和所述边缘区域中至少之一内的所述声波的速度，其中所述边缘区域内的速度小于所述中央区域内的速度。