发明名称 |
一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法,包括以下步骤:读取一组白光干涉条纹图像及系统参数,所述系统参数包括中心波长、光谱宽度和扫描步长;对于待测样品表面上任一像素点,取该像素点在该组白光干涉图像中的灰度值变化序列记为待测信号,然后根据系统参数及白光干涉原理生成参考信号;确定待测信号和参考信号的相关函数;对所得相关函数进行峰值检测,得到待测信号和参考信号之间的延迟量,延迟量与扫描步长相乘得到待测信号和参考信号之间的相对高度,进而确定每一个像素点的相对高度,复原得到待测样品表面的微观轮廓。本发明具有原理简单、检测精度高、抗噪声能力强等特点。 |
申请公布号 |
CN105865371A |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201610403134.7 |
申请日期 |
2016.06.08 |
申请人 |
南京理工大学 |
发明人 |
马骏;高志山;朱日宏;李晓强;王帅;王若言;魏聪 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 |
南京理工大学专利中心 32203 |
代理人 |
薛云燕 |
主权项 |
一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,读取一组白光干涉条纹图像及系统参数,所述系统参数包括中心波长、光谱宽度和扫描步长;步骤2,对于待测样品表面上任一像素点,取该像素点在该组白光干涉图像中的灰度值变化序列记为待测信号x<sub>1</sub>(t),然后根据系统参数及白光干涉原理生成参考信号x<sub>2</sub>(t),t为该组白光干涉图像的序列标号;步骤3,确定待测信号x<sub>1</sub>(t)和参考信号x<sub>2</sub>(t)的相关函数;步骤4,对步骤3所得相关函数进行峰值检测,得到待测信号x<sub>1</sub>(t)和参考信号x<sub>2</sub>(t)之间的延迟量τ,延迟量τ与扫描步长相乘得到待测信号x<sub>1</sub>(t)和参考信号x<sub>2</sub>(t)之间的相对高度,进而确定每一个像素点的相对高度,复原得到待测样品表面的微观轮廓。 |
地址 |
210094 江苏省南京市孝陵卫200号 |