一种薄膜结合强度测试设备

摘要

本实用新型公开了一种薄膜结合强度测试设备，包括光学平板、支撑系统、Y轴方向进给装置、角度可调节夹具、工具头、Z轴设定器、Z轴定器夹具、X轴方向进给装置、压头、声发射系统、测力系统。本实用新型所公开的薄膜结合性能测试设备可实现对不同厚度和层数的薄膜的结合性能的评价和测定。通过力信号发生突变的时间或者声发射信号来表征薄膜的结合强度，测力系统和声发射系统可以准确记录测试过程中力信号和声发射信号的变化。

主权项

一种薄膜结合强度测试设备，其特征在于，包括：光学平板、支撑系统、Y轴方向进给装置、角度可调节夹具、工具头、Z轴设定器、Z轴设定器夹具、X轴方向进给装置、压头、声发射系统、测力系统；所述测力系统包括力传感器和力数据处理部分；所述声发射系统包括声发射传感器和声音数据处理部分；所述支撑系统固定光学平板上；所述X轴方向进给装置安装于支撑系统上所述Y轴方向进给装置固定于光学平板上；所述角度可调节夹具固定于Y轴方向进给装置上；所述Z轴设定器夹具安装在X轴方向进给装置上；所述Z轴设定器固定在Z轴设定器夹具上；所述力传感器通过Z轴设定器夹具与Z轴设定器相连；所述工具头固定在力传感器上；所述压头固定在工具头上；所述角度可调节夹具上用于放置被测样品，所述声发射系统内的声发射传感器固定在被测样品上；所述测力系统的力数据处理部分采集力传感器的数据；所述声发射系统的声音数据处理部分采集声发射传感器的数据。