热空气等离子体处理

摘要

本公开涉及热空气等离子体处理。本公开包括大气等离子体系统和用于对表面进行等离子体处理的方法。等离子体系统可包括等离子体探头，等离子体探头被配置为接收处于大气压或在大气压之上的源空气，并从探头端部释放等离子体。等离子体系统还可包括空气供应系统和热源，空气供应系统包括被配置为将源空气供应到等离子体探头的空气供应导管，热源被配置为使空气供应系统中的源空气的温度升高到环境温度之上。热源可包括设置在空气供应导管中的内联加热器。源空气可被加热到25℃至1000℃的温度。热空气等离子体系统可将更高的等离子体剂量提供到所处理的表面，并且可允许减少的循环时间和较大的等离子体处理工作窗口。

主权项

一种大气等离子体系统，包括：等离子体探头，被配置为接收处于大气压或大于大气压的源空气，并从探头端部释放等离子体；空气供应系统，包括空气供应导管，所述空气供应导管被配置为将源空气供应到等离子体探头；热源，被配置为使在空气供应系统中的源空气的温度升高到环境温度之上。