| 发明名称 | 感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种感光性树脂组合物，其是含有（A）碱溶性高分子、（B）光聚合引发剂和（C）具有烯属不饱和双键的化合物的感光性树脂组合物，该（B）光聚合引发剂是2,4,5‑三芳基咪唑二聚体或吖啶化合物，而且（C）具有烯属不饱和双键的化合物包含下述通式（I）所示的化合物，式中，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、A、B、n<sub>1</sub>、n<sub>2</sub>和n<sub>3</sub>如说明书中所定义。所述感光性树脂组合物的显影液分散稳定性优异，可抑制聚集物的产生，具有适度的显影性、固化抗蚀层的柔软性和良好的耐蚀刻性。<img file="DDA00003398455500011.GIF" wi="1658" he="211" /> | ||
| 申请公布号 | CN103282829B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201180062574.6 | 申请日期 | 2011.11.28 |
| 申请人 | 旭化成株式会社 | 发明人 | 国松真一;筒井大和;内藤一也 |
| 分类号 | G03F7/027(2006.01)I;C08F2/50(2006.01)I;C08F20/26(2006.01)I;C08F290/06(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种感光性树脂组合物，其是含有(A)碱溶性高分子、(B)光聚合引发剂和(C)具有烯属不饱和双键的化合物的感光性树脂组合物，该(B)光聚合引发剂是2,4,5‑三芳基咪唑二聚体或吖啶化合物，而且该(C)具有烯属不饱和双键的化合物包含下述通式(I)所示的化合物：<img file="FDA0000921437880000011.GIF" wi="1657" he="216" />式(I)中，R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自独立地表示氢原子或甲基，A是C<sub>2</sub>H<sub>4</sub>或C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>，在‑(A‑O)<sub>n1</sub>‑和‑(A‑O)<sub>n3</sub>‑中，‑C<sub>2</sub>H<sub>4</sub>‑O‑和‑C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>‑O‑的重复单元的排列任选是无规的或嵌段的，该排列为嵌段的情况下，‑C<sub>2</sub>H<sub>4</sub>‑O‑和‑C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>‑O‑的任一者在‑B‑O‑基团侧，B是碳原子数4～8的2价烷基链，n<sub>1</sub>是0～10的整数，n<sub>3</sub>是0～10的整数，n<sub>1</sub>+n<sub>3</sub>是0～10的整数，且n<sub>2</sub>是5～20的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||