发明名称 |
一种硅片切割液冷却装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种硅片切割液冷却装置。包括进液腔,所述进液腔一侧外沿设有第一法兰,所述进液腔端面下部设有切割液进口,所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体,所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰,所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫,所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网,所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道,所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口,所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口,所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口,所述过滤网为细密金属网状结构。本实用新型,细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质。 |
申请公布号 |
CN205482470U |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201620006405.0 |
申请日期 |
2016.01.05 |
申请人 |
江西忠智太阳能科技有限公司 |
发明人 |
李朝辉;王军 |
分类号 |
F28D7/02(2006.01)I;F28F19/01(2006.01)I |
主分类号 |
F28D7/02(2006.01)I |
代理机构 |
新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙) 36124 |
代理人 |
廖平 |
主权项 |
一种硅片切割液冷却装置,包括进液腔(1),其特征在于:所述进液腔(1)一侧外沿设有第一法兰(2),所述进液腔(1)端面下部设有切割液进口(8),所述进液腔(1)远离切割液进口(8)的一端设有腔体(7),所述腔体(7)靠近进液腔(1)端部的一侧设有第二法兰(4),所述第一法兰(2)与第二法兰(4)之间设有第一法兰垫(3),所述腔体(7)靠近进液腔(1)的一端设有过滤网(9),所述过滤网(9)远离进液腔(1)的一侧设有两个相同形状的切割液冷却管道(6),所述腔体(7)靠近第二法兰(4)的一侧设有冷却液出口(5),所述腔体(7)远离过滤网(9)的一端设有切割液出口(11),所述腔体(7)靠近切割液出口(11)的一侧设有冷却液进口(10)。 |
地址 |
338000 江西省新余市开发区春龙工业园江西忠智太阳能科技有限公司 |