旋转台式飞秒激光直写方法及装置

摘要

一种旋转台式飞秒激光直写装置，包括：飞秒激光源；激光路径，设置有激光调制器、二维激光扫描振镜和显微物镜，来自飞秒激光源的激光束被激光调制器调制后经过二维激光扫描振镜后经由显微物镜入射到加工件上；X‑Y轴二维平移台以及布置在X‑Y轴二维平移台上的旋转台，旋转台的转轴与直写光轴对准，旋转台的台面垂直于直写光轴，加工件固定于所述旋转台的台面上；和控制器，所述控制器构造成经由激光路径控制入射到加工件上的激光束，以及控制X‑Y轴二维平移台以及旋转台的操作。

主权项

一种旋转台式飞秒激光直写装置，包括：飞秒激光源；激光路径，设置有激光调制器、二维激光扫描振镜和显微物镜，来自飞秒激光源的激光束被激光调制器调制后经过二维激光扫描振镜后经由显微物镜入射到加工件上；X‑Y轴二维平移台以及布置在X‑Y轴二维平移台上的旋转台，旋转台的转轴与直写光轴对准，旋转台的台面垂直于直写光轴，加工件固定于所述旋转台的台面上；和控制器，所述控制器构造成经由激光路径控制入射到加工件上的激光束，以及控制X‑Y轴二维平移台以及旋转台的操作，其中：所述激光路径包括位于二维激光扫描振镜下游的4f光学系统，4f光学系统由焦距相同的第一透镜和第二透镜构成，第一透镜距离扫描振镜出射轴镜片的光程为第一透镜的一倍焦距，第一透镜与第二透镜间的光程为第一透镜的二倍焦距，第二透镜距离显微物镜入瞳的光程为第一透镜的一倍焦距。