| 发明名称 | 一种铟镓磷异质结双极型晶体管及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铟镓磷异质结双极型晶体管及其制造方法。铟镓磷异质结双极型晶体管从下至上依次包括衬底、重掺杂次集电极区层、重掺杂铟镓磷蚀刻终止层、轻掺杂集电区层、基区层、轻掺杂铟镓磷发射区层和重掺杂发射帽层。本发明能够有效提高异质结双极型晶体管的线性度和可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN105870166A | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
| 申请号 | CN201610253781.4 | 申请日期 | 2016.04.22 |
| 申请人 | 杭州立昂东芯微电子有限公司 | 发明人 | 汪耀祖 |
| 分类号 | H01L29/08(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人 | 尉伟敏 |
| 主权项 | 一种铟镓磷异质结双极型晶体管，其特征在于：从下至上依次包括衬底、重掺杂次集电极区层（1）、重掺杂铟镓磷蚀刻终止层（2）、轻掺杂集电区层（3）、基区层（4）、轻掺杂铟镓磷发射区层（5）和重掺杂发射帽层（6）。 | ||
| 地址 | 310018 浙江省杭州市下沙经济技术开发区20号大街199号 | ||