发明名称 |
太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种太阳能电池的制造方法,其具有以下工序:对半导体基板的一个面上的部分区域给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质的第一用于形成p型扩散层的组合物的工序;对上述半导体基板的给予了上述第一用于形成p型扩散层的组合物的面上的、至少上述部分区域以外的区域,给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质、且p型杂质浓度比上述第一用于形成p型扩散层的组合物低的第二用于形成p型扩散层的组合物的工序;以及对给予了上述第一用于形成p型扩散层的组合物及第二用于形成p型扩散层的组合物的半导体基板进行热处理而形成p型扩散层的工序;在上述部分区域上形成电极的工序。 |
申请公布号 |
CN103155164B |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201180048863.0 |
申请日期 |
2011.11.15 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
町井洋一;吉田诚人;野尻刚;冈庭香;岩室光则;足立修一郎;织田明博;佐藤铁也;木泽桂子 |
分类号 |
H01L21/225(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/225(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
龚敏 |
主权项 |
一种太阳能电池的制造方法,其具有以下工序:对半导体基板的一个面上的部分区域给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质的第一用于形成p型扩散层的组合物的工序;对所述半导体基板的给予所述第一用于形成p型扩散层的组合物的面上的、至少所述部分区域以外的区域,给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质、且p型杂质浓度比所述第一用于形成p型扩散层的组合物低的第二用于形成p型扩散层的组合物的工序;对给予了所述第一用于形成p型扩散层的组合物及第二用于形成p型扩散层的组合物的半导体基板进行热处理而形成p型扩散层的工序;以及在所述部分区域上形成电极的工序。 |
地址 |
日本东京都 |