发明名称 | 一种光波导及其制备方法、电子器件 | ||
摘要 | 本发明涉及一种光波导及其制备方法、电子器件。所述方法包括步骤S1:提供衬底;步骤S2:在所述衬底上依次形成底覆层、芯层和顶覆层,以形成光波导,其中所述底覆层和/或所述顶覆层通过喷射打印的方法形成。本发明为了解决现有技术中存在的问题,提供了一种基于聚合物的光波导的制备方法,在所述方法中选用气凝胶喷射打印形成所述底覆层和/或所述顶覆层,通过所述方法解决现有技术中尺寸的限制,而且所述方法具有优越的性能,例如低传播损失(low-propagation loss)、低串扰(low interchannel crosstalk)高带宽(high bandwidth)以及与MMF和光电探测器(photodetectors)具有高耦合效率(high coupling efficiency)。 | ||
申请公布号 | CN105842783A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
申请号 | CN201510014269.X | 申请日期 | 2015.01.12 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 张海洋 |
分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I |
代理机构 | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人 | 高伟;冯永贞 |
主权项 | 一种光波导的制备方法,包括:步骤S1:提供衬底;步骤S2:在所述衬底上依次形成底覆层、芯层和顶覆层,以形成光波导,其中所述底覆层和/或所述顶覆层通过喷射打印的方法形成。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |