镜驱动设备和控制该设备的方法

摘要

一种镜驱动设备，能够包括：镜部件，具有配置为反射光的反射表面；镜支撑部件，形成于所述镜部件的彼此对角的部分处；以及第一致动器和第二致动器，放置为围绕所述镜部件，其中，所述第一致动器和所述第二致动器均具有如下结构：纵向方向取向为第一轴的方向的多个第一压电悬臂和纵向方向取向为第二轴的多个第二压电悬臂耦合到一起以便被折叠，并且所述第一致动器和所述第二致动器中的每一个具有经由所述镜支撑部件中相关的一个镜支撑部件连接至所述镜部件的一端和连接至所述镜支撑部件附近的固定部件的另一端，所述一端耦合至所述镜支撑部件。

主权项

一种镜驱动设备，包括：镜部件，具有配置为反射光的反射表面；镜支撑部件，形成于所述镜部件的彼此对角的部分处；以及第一致动器和第二致动器，放置为围绕所述镜部件，其中，所述第一致动器和所述第二致动器均具有如下结构：纵向方向取向为第一轴的方向的多个第一压电悬臂和纵向方向取向为与所述第一轴垂直的第二轴的方向的多个第二压电悬臂耦合到一起以便被折叠，并且所述第一致动器和所述第二致动器中的每一个具有经由所述镜支撑部件中相关的一个镜支撑部件连接至所述镜部件的一端和连接至所述镜支撑部件附近的固定部件的另一端，所述一端耦合至所述镜支撑部件，所述多个第一压电悬臂和所述多个第二压电悬臂具有耦合为被折叠的结构，使得所述一端所耦合至的所述镜支撑部件和另一端所耦合至的所述固定部件在用于第二轴旋转并由所述多个第一压电悬臂配置的致动器元件的第二轴方向上的宽度大小的范围内彼此靠近。