一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置和方法

摘要

本发明涉及一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置，包括信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器依次连接；方法包括：信号发生器输出交流信号到膜片钳放大器；调节膜片钳放大器的补偿电容值；有效值转换电路计算出电流幅值的有效值，并将幅值有效值反馈至控制器，控制器根据该幅值有效值实时控制探针高度，实现样品的扫描。本发明使用交流电流幅值作为反馈值，因此能克服直流模式下直流漂移、易受电气噪声影响等缺点；具有比传统交流模式更高的调制频率，可实现加快扫描的目的。

主权项

一种SICM的幅度调制成像模式扫描装置，其特征在于：包括信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、有效值转换电路、控制器依次连接；所述膜片钳放大器与探针连接；探针固定于Z向纳米压电陶瓷上并位于XY纳米平台上方；所述控制器与XY纳米平台、Z向纳米压电陶瓷连接。