| 摘要 |
검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장치에관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은, 각각이 입력 신호를 수신하는 적어도 하나의 입력단; 각각이 출력 신호를 송신하는 적어도 하나의 출력단; 입력 신호를 웨이퍼의 입력 패드에 전달하는 입력 프로브 핀; 출력 신호를 웨이퍼의 출력 패드로부터 수신하는 출력 프로브 핀; 입력단과 입력 프로브 핀 사이에 위치하며, 동작 신호를 수신하는 제어부 및 입력단과 입력 프로브 핀을 전기적으로 연결시키는 접속부를 포함하는 적어도 하나의 입력단 멤스 스위치; 및 출력단과 출력 프로브 핀 사이에 위치하며, 동작 신호를 수신하는 제어부 및 출력단과 출력 프로브 핀을 전기적으로 연결시키는 접속부를 포함하는 적어도 하나의 출력단 멤스 스위치를 포함한다. |
