| 发明名称 | 用于物理气相沉积腔室的双极准直器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种包括设置于物理气相沉积腔室中的双极准直器的设备和使用所述设备的方法。在一个实施方式中，设备包括腔室主体和设置在腔室主体上的腔室盖从而界定处理区于内、设置于处理区中的准直器及耦接至准直器的电源。 | ||
| 申请公布号 | CN105849863A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201480050843.0 | 申请日期 | 2014.08.28 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 李靖珠;刘国俊;王伟;普拉沙斯·科斯努 |
| 分类号 | H01L21/203(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/203(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种设备，所述设备包括：腔室主体和设置在所述腔室主体上的腔室盖，从而界定处理区于内；准直器，所述准直器设置在所述处理区中；及电源，所述电源耦接至所述准直器。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||