一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法及系统

摘要

本发明公开了一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法及系统。本发明通过获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量，根据产品数量和已建立的表征蚀刻酸液中不同酸的浓度随蚀刻产品数量的变化关系的酸浓度变化模型，确定蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值。通过上述方式，本发明能够准确、快速确定蚀刻体系中不同酸的浓度值。

主权项

一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法，其特征在于，所述方法包括：获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量；根据所述产品数量和已建立的对应所述蚀刻体系的酸浓度变化模型，确定所述蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值，所述酸浓度变化模型用于表征蚀刻酸液中不同酸的浓度随蚀刻产品数量的变化关系。