| 摘要 |
상부 면 및 하부 면 위에 상부 금속 전극 및 하부 금속 전극을 가진 압전 재료의 실질적으로 수평인 멤브레인을 포함하는 음향 공진기로서, 상기 막은 자신의 주변부에서 부착 폴리머에 의해 장방형 인터커넥트 프레임의 내부 측벽으로 부착되고, 패키지 프레임의 측벽들은 상기 막에 실질적으로 수직이고 유전체 매트릭스 내에 도전성 비아를 구비하고, 상기 도전성 비아는 상기 측벽들 내에서 실질적으로 수직으로 지나가고, 상기 음향 공진기를 자신의 주변으로부터 밀봉하기 위해 상기 금속 전극은 상기 멤브레인과 상기 인터커넥트 프레임의 상부 및 하부 단부에 결합된 상부 및 하부 덮개의 상부 표면 위로 피처층에 의해 상기 금속 비아에 통전가능하게 결합되는 음향 공진기. |
