| 摘要 |
본 발명의 실시예들은, 기판 지지부와, 광학 경로를 따라 레이저 방사선을 방출하는 레이저 방사선 소오스와, 상기 광학 경로를 따라 배치된 조명 광학계를 포함한 장치를 제공한다. 상기 조명 광학계는 저속축 및 고속축 렌즈들의 세트를 포함한다. 상기 장치는 상기 광학 경로를 따라 상기 기판 지지부와 상기 조명 광학계 사이에 배치된 균질화기를 더 포함한다. 상기 균질화기는 원통형 렌즈들의 제 1 및 제 2 마이크로 광학 렌즈렛 어레이들을 포함하며, 상기 원통형 렌즈들의 제 2 마이크로 광학 렌즈렛 어레이는 상기 원통형 렌즈들의 제 1 마이크로 광학 렌즈렛 어레이의 렌즈렛 피치보다 상대적으로 더 큰 렌즈렛 피치를 갖고, 상기 제 1 마이크로 광학 렌즈렛 어레이의 렌즈렛 축들과 상기 제 2 마이크로 광학 렌즈렛 어레이의 렌즈렛 축들은 상기 레이저 방사선 소오스의 고속축에 대해 평행한 축을 따라 배향된다. |
