压印方法、压印装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印方法、压印装置以及物品的制造方法。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。

主权项

一种压印方法，其通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，使基板上形成的投射区域上的压印材料形成图案，所述压印方法包括以下步骤：根据被确定为使所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的所述图案区域和所述投射区域中的至少一个区域的变形量，进行所述至少一个区域的变形的控制；获得在所述图案区域和所述投射区域的变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于在所述获得步骤中获得的所述偏移量，从所述多个标记中选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，使得满足预设条件；以及在所述进行变形的控制步骤中的所述变形之后，基于对在所述选择步骤中选择的标记的位置的检测结果，进行所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的反馈控制。