| 摘要 |
1. Устройство фотолитографии, характеризующееся тем, что содержит рабочий столик, выполненный с возможностью фиксации подложки и управляемого перемещения в вертикальной плоскости, шаблонодержатель, установленный над рабочим столиком, микроскоп и светодиодное ультрафиолетовое осветительное устройство, при этом рабочий столик установлен с возможностью изменения угла рабочей поверхности по отношению к шаблонодержателю и фиксации положения.2. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что рабочий столик установлен с возможностью управляемого перемещения в вертикальной плоскости, а также в горизонтальной плоскости по двум взаимно перпендикулярным координатным осям и по угловой координатной оси.3. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что микроскоп выполнен с возможностью подключения видеокамеры.4. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что шаблонодержатель установлен над рабочим столиком с возможностью управляемого перемещения в горизонтальной плоскости по двум взаимно перпендикулярным координатным осям и по угловой координатной оси.5. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что микроскоп выполнен с возможностью управляемого перемещения по трем взаимно перпендикулярным координатным осям.6. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что осветительное устройство снабжено устройством охлаждения.7. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что дополнительно снабжено пневмоэлектрической системой управления.8. Устройство фотолитографии по п. 1, отличающееся тем, что снабжено блоком управления осветителя, выполненным с возможностью выбора режима его работы и |
