发明名称 |
半导体基板的制造方法、半导体基板、太阳能电池元件的制造方法及太阳能电池元件 |
摘要 |
本发明提供一种具有扩散层的半导体基板的制造方法,具有:对半导体基板的至少一部分分别在不同的区域赋予n型扩散层形成组合物和p型扩散层形成组合物的工序,所述n型扩散层形成组合物含有包含施主元素的玻璃粒子及分散介质,所述p型扩散层形成组合物含有包含受主元素的玻璃粒子及分散介质;和通过进行热处理而形成n型扩散层、并且形成p型扩散层的工序。 |
申请公布号 |
CN105830200A |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
CN201480069124.3 |
申请日期 |
2014.12.19 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
织田明博;吉田诚人;野尻刚;仓田靖;芦泽寅之助;町井洋一;岩室光则;佐藤英一;清水麻理;佐藤铁也 |
分类号 |
H01L21/22(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/22(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
葛凡 |
主权项 |
一种具有扩散层的半导体基板的制造方法,其具有:对半导体基板上的至少一部分分别在不同的区域赋予n型扩散层形成组合物和p型扩散层形成组合物的工序,所述n型扩散层形成组合物含有包含施主元素的玻璃粒子及分散介质,所述p型扩散层形成组合物含有包含受主元素的玻璃粒子及分散介质;和通过进行热处理而形成n型扩散层、并且形成p型扩散层的工序。 |
地址 |
日本东京都 |