发明名称 负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁和光学元件
摘要 提供能够对分隔壁上表面赋予良好的拒墨性、特别是良好的墨掉落性的负型感光性树脂组合物、上表面具有良好的拒墨性的固化膜和分隔壁、以及具有在由分隔壁分隔成的开口部均匀地涂布墨而精度良好地形成的点的光学元件。一种负型感光性树脂组合物、使用该负型感光性树脂组合物而形成的固化膜和分隔壁、以及在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的该分隔壁的光学元件。所述负型感光性树脂组合物包含氟原子含有率为1~45质量%的拒墨剂,所述拒墨剂为水解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物,所述水解性硅烷化合物混合物包含具有光固化性的碱溶性树脂或碱溶性单体、光聚合引发剂和水解性硅烷化合物,所述水解性硅烷化合物具有:具备含醚性氧原子的多氟烷基的有机基团、以及水解性基团。
申请公布号 CN105829100A 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201480069461.2 申请日期 2014.12.12
申请人 旭硝子株式会社 发明人 山田光太郎;松浦启吾
分类号 B32B27/00(2006.01)I;C08F290/06(2006.01)I;C08F299/02(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/12(2006.01)I;H05B33/22(2006.01)I 主分类号 B32B27/00(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种树脂固化膜,其特征在于,其是形成在基板上的树脂固化膜,在利用X射线光电子能谱(XPS)进行的所述树脂固化膜的表面的组成分析及厚度方向的组成分析中,在所述树脂固化膜的至少表面测定到表示硅原子和源自‑O‑CF<sub>2</sub>‑基的碳原子的存在的峰,所述树脂固化膜的表面的源自‑O‑CF<sub>2</sub>‑基的碳原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[C<sub>FO</sub>/C<sub>H</sub>]<sub>(s)</sub>大于所述树脂固化膜的内部的源自‑O‑CF<sub>2</sub>‑基的碳原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[C<sub>FO</sub>/C<sub>H</sub>]<sub>(i)</sub>,并且,所述树脂固化膜的表面的硅原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[Si/C<sub>H</sub>]<sub>(s)</sub>大于所述树脂固化膜的内部的硅原子浓度相对于源自取代或无取代的非氟代烃基的碳原子浓度的比值[Si/C<sub>H</sub>]<sub>(i)</sub>。
地址 日本东京都