测量激光束到工件中的透入深度的方法及激光加工设备

摘要

本发明涉及一种用于测量激光束(19)到工件(24、26)中的透入深度的方法，在所述方法中，借助于布置在加工头中的聚焦光学装置(14)将激光束聚焦在焦点(22)中。所述焦点在此在工件中产生蒸汽毛细管(88)。光学相干层析成像仪(40)产生第一测量束(70a)和第二测量束(70b)。将第一测量束(70a)对准蒸汽毛细管(88)的底部上的第一测量点(MPa)，以便由此测量在参考点与第一测量点(MPa)之间的第一距离(a1)。同时将第二测量束(70b)对准工件(24)的朝向加工头(14)的、位于蒸汽毛细管(88)之外的表面(92)上的第二测量点(MPb)，以便由此测量在参考点与第二测量点(MPb)之间的第二距离(a2)。激光束的透入深度(d)则作为在第二距离(a2)与第一距离(a1)之间的差而得到。

主权项

一种用于测量激光束(19)到工件(24)中的透入深度(d)的方法，该方法包括以下步骤：a)借助于布置在加工头(14)中的聚焦光学装置(32)将所述激光束(19)聚焦在焦点(22)中，由此，所述焦点在所述工件中产生蒸汽毛细管(88)；b)利用光学相干层析成像仪(40)产生第一测量束(70a)和第二测量束(70b)；c)将所述第一测量束(70a)对准所述蒸汽毛细管(88)中的第一测量点(MPa)，以便由此测量在参考点与所述第一测量点之间的第一距离(a1)；d)与步骤c)同时将所述第二测量束(70b)对准所述工件(24)的朝向所述加工头(14)的、位于所述蒸汽毛细管(88)之外的表面(92)上的第二测量点(MPb)，以便由此测量在所述参考点与所述第二测量点之间的第二距离(a2)；e)由所述第一距离(a1)和所述第二距离(a2)确定所述激光束(19)的透入深度(d)。