发明名称 光电转换装置和使用光电转换装置的成像系统
摘要 本发明涉及光电转换装置和使用光电转换装置的成像系统。一种光电转换装置包括:用于输出根据光的信号的有效像素区域,以及用于输出基准信号的光学黑像素区域,其中,在光学黑像素区域中,在绝缘膜中布置插塞,并且,在插塞上方布置遮光膜并使该遮光膜与插塞连接,以使得插塞的上表面和绝缘膜的上表面形成同一个面,并且其中,在遮光膜上方或下方,布置厚度为5~15nm的钛膜。
申请公布号 CN102044551B 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201010502907.X 申请日期 2010.10.13
申请人 佳能株式会社 发明人 熊野秀臣
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 李颖
主权项 一种光电转换装置,包括:有效像素区域,所述有效像素区域用于输出根据光的信号,所述有效像素区域具有光电转换单元;和光学黑像素区域,所述光学黑像素区域用于输出基准信号,所述光学黑像素区域具有光电转换单元,其中,在所述光学黑像素区域中,在绝缘膜中布置插塞,并且,在插塞上方以及光电转换单元上方布置遮光膜的一部分并使遮光膜的所述一部分与插塞连接,以使得插塞的上表面和绝缘膜的上表面形成同一个面,在所述有效像素区域中,布置遮光膜的另一部分并且遮光膜的所述另一部分在光电转换单元上有开口,并且其中,厚度为5~15nm的钛膜被布置在遮光膜和插塞之间,其中,钛膜被形成为具有与遮光膜的图案相同的图案。
地址 日本东京