气密性检测装置

摘要

本实用新型公开一种气密性检测装置，用于检测具有开放端口的精密器件的气密性，其包括用于对开放端口进行密封的密封玻璃，和与精密器件的出气口相连通的导气管，导气管的另一端穿过一蠕动泵的管床并延伸出来形成抽真空出气口，蠕动泵和精密器件之间的导气管上设置有负压测量表。本实用新型的气密性检测装置，其通过密封玻璃对精密器件的开放端口进行密封形成密封空间，并采用蠕动泵进行抽真空工作，通过负压测量表对抽真空后的密封空间的气密性进行监测，从而得到精密器件的气密系数，本实用新型的气密性检测装置，结构简单，操作方便，通过其检测得到的气密性结果也更加精密，能够满足精密器件对精密度的要求。

主权项

一种气密性检测装置，用于检测具有开放端口的精密器件的气密性，其特征在于，所述气密性检测装置包括用于对开放端口进行密封的密封玻璃，和与精密器件的出气口相连通的导气管，所述导气管的另一端穿过一蠕动泵的管床并延伸出来形成抽真空出气口，所述蠕动泵和所述精密器件之间的导气管上设置有负压测量表。