| 发明名称 | 压电执行梁结构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种压电执行梁结构，包括：一衬底电极，该衬底电极为矩形；一锚点，其制作在衬底电极上背面纵向的一侧；一压电层，其制作在衬底电极上；一第一上电极，其制作在压电层上横向的一侧；一第二上电极，其制作在压电层上横向的另一侧，该第一上电极和第二上电极不接触。本发明具有压电位移响应大、结构和制备工艺简单、可靠性高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN105810813A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201610159349.9 | 申请日期 | 2016.03.21 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 司朝伟;韩国威;赵永梅;宁瑾;杨富华 |
| 分类号 | H01L41/047(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/047(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 一种压电执行梁结构，包括：一衬底电极，该衬底电极为矩形；一锚点，其制作在衬底电极上背面纵向的一侧；一压电层，其制作在衬底电极上；一第一上电极，其制作在压电层上横向的一侧；一第二上电极，其制作在压电层上横向的另一侧，该第一上电极和第二上电极不接触。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||