发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要 기판 위의 게이트 전극층; 게이트 전극층 위의 게이트 절연층; 게이트 절연층 위의 제 1 소스 전극층 및 제 1 드레인 전극층; 게이트 절연층 위의 산화물 반도체층; 및 산화물 반도체층 위의 제 2 소스 전극층 및 제 2 드레인 전극층을 포함하고, 산화물 반도체층의 하면의 제 1 부분, 제 2 부분 및 제 3 부분은 제 1 소스 전극층, 제 1 드레인 전극층, 게이트 절연층과 각각 접하고, 산화물 반도체층의 상면의 제 1 부분 및 제 2 부분은 제 2 소스 전극층 및 제 2 드레인 전극층과 각각 접하는 반도체 장치가 제공된다. 제 1 소스 전극층 및 제 1 드레인 전극층은 제 2 소스 전극층 및 제 2 드레인 전극층에 각각 전기적으로 접속된다.
申请公布号 KR101643204(B1) 申请公布日期 2016.07.27
申请号 KR20147010647 申请日期 2009.11.24
申请人 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 发明人 아키모토 켄고;사사키 토시나리
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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