| 发明名称 |
SUBSTRATE CARRIER FOR A REDUCED TRANSMISSION OF THERMAL ENERGY |
| 摘要 |
본 개시 내용에 따라, 반도체 기판 핸들링 시스템들 및 기판 캐리어가 제공된다. 프로세싱될 기판을 홀딩하기 위한, 그리고 운송 디바이스를 이용하여 프로세싱 지역에서 또는 프로세싱 지역을 통해 기판을 운송하기 위한 기판 캐리어는 기판을 홀딩하기 위한 주 부분; 운송 디바이스에 의해 지지되도록 이루어진 제 1 단부 부분; 및 주 부분을 제 1 단부 부분과 연결하는 적어도 하나의 제 1 중간 부분을 포함한다. 적어도 하나의 제 1 중간 부분은 주 부분과 제 1 단부 부분 사이의 열 에너지 전달을 감소시키도록 이루어진 하나 또는 그 초과의 컷-아웃들을 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160089507(A) |
申请公布日期 |
2016.07.27 |
| 申请号 |
KR20167017053 |
申请日期 |
2013.11.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LOPP ANDREAS EWALD;KELLER STEFAN;SCHUESSLER UWE;BANGERT STEFAN;GEBELE THOMAS;SPATZ NORBERT |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/203;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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