真空组件及形成方法

摘要

所公开的主题包括与真空和真空组件有关的设备和方法。在一些方面中，方法和设备涉及一种真空组件，该真空组件包括限定排空后的真空室的本体、在真空室和本体的外部之间延伸的本体中的管道、至少部分堵塞管道的塞子、以及从本体的外部密封真空室的塞子和本体之间的密封件。

主权项

一种用于在真空组件中形成真空的方法，所述方法包括：提供真空组件，所述真空组件限定经由内部真空室和所述真空组件的外部之间的所述真空组件中的管道与所述真空组件的所述外部流体连通的所述真空室；定位塞子以至少部分地阻塞所述管道，使得所述塞子和所述真空组件之间的至少一个空间允许流体在所述真空室和所述真空组件的所述外部之间行进；排空所述真空室，使得所述真空室中的气体通过所述塞子和所述真空组件之间的所述至少一个空间离开所述真空室；以及用所述塞子密封所述排空后的真空室，使得所述真空室从所述真空组件的所述外部被密封。