发明名称 | 光学固化系统 | ||
摘要 | 本发明公开一种光学固化系统,其包括承载座、第一光学透镜、第二光学透镜及照光源。承载座用以承载一基板。第二光学透镜位于第一光学透镜与承载座之间。照光源用以发射一光线通过第一光学透镜及第二光学透镜至基板,其中光线发散地入射至基板。 | ||
申请公布号 | CN105797931A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
申请号 | CN201410848065.1 | 申请日期 | 2014.12.31 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 林雨谦;施惠绅 |
分类号 | B05D3/06(2006.01)I | 主分类号 | B05D3/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
主权项 | 一种光学固化系统,包括:承载座,用以承载一基板;第一光学透镜;第二光学透镜,该第二光学透镜位于该第一光学透镜与该承载座之间;以及照光源,用以发射一光线通过该第一光学透镜及该第二光学透镜至该基板,其中该光线发散地入射至该基板。 | ||
地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区 |