| 发明名称 | 掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种掩模传输装置，包括：取放版机械手，用于从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；定位对准装置，用于将所述掩模与掩模台对准；双重制动装置，用于异常情况时对所述取放版机械手制动。本发明还公开了曝光装置及掩模传输方法。本发明所提供的掩模传输装置，在发生异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全；并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模传输的精确性。 | ||
| 申请公布号 | CN105807574A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201410857404.2 | 申请日期 | 2014.12.30 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王长刚;姜杰 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种掩模传输装置，其特征在于，包括：取放版机械手(3)，用于从版盒(1)中取出掩模(2)，并承载所述掩模(2)移动；定位对准装置(4)，用于将所述掩模(2)与掩模台(5)对准；双重制动装置(7)，用于异常情况时对所述取放版机械手(3)制动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||