一种一体化干涉仪装置的控制方法

摘要

本发明公开一种一体化干涉仪装置的控制方法，其特征在于，包括：步骤一、在第一方向设置至少两个干涉仪；步骤二、设置每一干涉仪的控制权重，其中控制权重分配如下：当工件台或掩膜台运动至每一干涉仪的控制区域中，权重因子等于1；当工件台或掩膜台运动至非控制区域，权重因子等于0；当工件台或掩膜台运动至两个干涉仪共同控制区域，其权重因子为一多阶函数；步骤三、判断是否有干涉仪丢光，如判断结果为真，则对该丢光的干涉仪进行动态归零。

主权项

一种一体化干涉仪装置的控制方法，其特征在于，包括：步骤一、在第一方向设置至少两个干涉仪；步骤二、设置每一个干涉仪的控制权重步骤三、判断是否有干涉仪丢光，如判断结果为真，则对所述丢光的干涉仪进行动态归零；其中所述步骤二中的控制权重分配如下：当工件台或掩膜台的不同的区域由不同的干涉仪控制时，在两个干涉仪控制区域的交接点处完成两个干涉仪的切换，每个干涉仪在各自的控制区域内的权重因子等于1，在非控制区域，权重因子等于0；当工件台或掩膜台的某个区域由两个干涉仪共同控制时，则在共同控制的区域中设置一段切换区域，在该切换区域内，完成两个干涉仪测量系统的切换，两个干涉仪的权重因子分配方式为：一个干涉仪权重因子逐渐从1减少到0的同时另外一方干涉仪权重因子逐渐从0增加到1；由两个干涉仪的测量值加权计算得出工件台或掩膜台的位置；当工件台或掩膜台的某个区域由多个干涉仪共同控制时，每个干涉仪在其控制的行程范围内设定一个权重因子的多阶函数，当每个干涉仪其处于其控制范围的中心位置时，此干涉仪的权重因子最大，当其处于其控制区域的边缘时，权重因子最小，由所有干涉仪的测量值加权计算得出工件台或掩膜台的位置。