一种晶圆打墨印装置及其打墨印方法

摘要

本发明公开了一种晶圆打墨印装置及其打墨印方法，所述晶圆打墨印装置包括支杆、墨印剂管、鱼线，所述支杆固定在晶圆针测机的机体内，所述墨印剂管垂直设立于所述晶圆针测机的检测区域的正上方，所述墨印剂管与所述支杆连接，所述鱼线同轴设置于所述墨印剂管内，所述鱼线的出墨口端从所述墨印剂管底部向外伸出，所述墨印剂管内设置有用于在晶粒上喷墨的墨印剂。本发明的优点在于：本发明采用直角墨印剂管设计取代现有的斜角模式，增加了墨印器顶针相对于晶圆的安全距离，大大降低了刮伤晶圆的风险，有效避免了测试损失；本发明可以安装在针测机空间比较开阔的位置，方便人员操作。

主权项

一种晶圆打墨印装置，其特征在于，包括支杆、墨印剂管、鱼线，所述支杆固定在晶圆针测机的机体内，所述墨印剂管垂直设立于所述晶圆针测机的打墨印区域的正上方，所述墨印剂管与所述支杆连接，所述鱼线同轴设置于所述墨印剂管内，所述鱼线的出墨口端从所述墨印剂管底部向外伸出，所述墨印剂管内设置有用于在晶粒上印墨的墨印剂。