一种单芯片三轴陀螺仪

摘要

本发明涉及一种单芯片三轴陀螺仪，具有体积小、成本低廉、低功耗的优点，其包括：质量块，质量块包括相互耦合的主质量块和耦合质量块，主质量块为偶数个且沿Y轴对称设置于耦合质量块两侧；电极层组，电极层组包括第一电极层组、第二电极层组和第三电极层组，第一电极层组、第二电极层组与质量块之间具有间隙，且第一电极层组沿Y轴对称设置于第二电极层组的两侧，第一电极层组位于质量块的正投影内，第二电极层组位于耦合质量块的正投影内，第三电极层组包括一组静止型细长平板和一组活动型细长平板，第三电极层组通过弹性部件与所述主质量块连接；驱动梳齿组，驱动梳齿组与主质量块连接，用以输入信号并驱动主质量块移动。

主权项

一种单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述单芯片三轴陀螺仪包括：质量块，所述质量块包括相互耦合的主质量块和耦合质量块，所述主质量块为偶数个且沿Y轴对称设置于所述耦合质量块两侧, 所述主质量块耦合带动所述耦合质量块实现简谐振动；电极层组，所述电极层组包括第一电极层组、第二电极层组和第三电极层组，所述第一电极层组、第二电极层组与所述质量块之间具有间隙，且所述第一电极层组沿Y轴对称设置于所述第二电极层组的两侧，所述第一电极层组位于所述主质量块的正投影内，所述第二电极层组位于所述耦合质量块的正投影内，所述第三电极层组包括一组静止型细长平板和一组活动型细长平板，所述第三电极层组通过弹性部件与所述主质量块连接；驱动梳齿组，所述驱动梳齿组与主质量块连接，用以输入信号并驱动所述主质量块移动。